- ページ 6
計測機器 Automation Dr. Nix QNix 5500のPDF 操作マニュアルをオンラインで閲覧またはダウンロードできます。Automation Dr. Nix QNix 5500 20 ページ。
Automation Dr. Nix QNix 5500 にも： クイック・スタート・マニュアル (12 ページ), 操作マニュアル (16 ページ)
ページを印刷する
5500
Bereich
Symbole
Beschreibung
Sonden-Statusleiste
Sonde verbunden
Messwertbereich
n:
Anzahl der bereits aufgenommenen Messungen
µm / mil
Einheit für die Schichtdicke
n-1:
Letzter und vorletzter Messwert
n-2:
NFe / Fe
Aktuelles Substrat
Auswerte-Bereich
Mittelwert
x-max
Höchster gemessener Wert
x-min
Niedrigster gemessener Wert
σ
Standardabweichung
4.4 Messung durchführen
>
Falls notwendig, Justierung durchführen
>
Sonde aufsetzen und Messung durchführen
Farbsignalisierung am Sondenhalter
>
Grün: Messwert aufgenommen
>
Blau: Sonde ist defekt oder nicht richtig verbunden
10
10 / 31
4 Betrieb und Bedienung
QNix 5500 EN_ES_FR_IT_NL_PL
5 Fehlerbehebung
5 Fehlerbehebung
Falls das Gerät sich nicht wie erwartet verhält, prüfen Sie bitte folgende Punkte:
Fehler
Ursache
Gerät lässt sich nicht einschalten Batterien leer
Justierung mit Referenzplatten
Falsche Referenzplatte gewählt Wählen Sie die Referenzplatte
liefert unplausible Ergebnisse
Gerät oder Sonde defekt
Sensorring leuchtet blau
Messbereichsüberschreitung
Sensorring leuchtet bei einem
Kein Fehler
Sondenwechsel kurz blau auf
(kein Fehler)
6 Service und Reparatur
Reparaturen an den Betriebsmitteln dürfen nur durch unsere Service-Partner bzw. vom Hersteller
autorisiertes Personal durchgeführt werden.
Sollten Sie Fragen haben, wenden Sie sich bitte an Ihren Händler vor Ort oder an unseren Support:
www.q-nix.com/support
Automation Dr. Nix GmbH & Co KG
Robert-Perthel-Strasse 2
50739 Köln
Deutschland
Tel.: +49 (0)221 91 74 55-0
Fax.: +49 (0)221 17 12 21
QNix 5500 EN_ES_FR_IT_NL_PL
5500
Maßnahmen
Wechseln Sie die Batterien oder
schließen Sie das Gerät an einen
USB-Anschluss an.
Fe/NFe passend zur Sonde.
Wenden Sie sich an Ihren Ser-
vicepartner.
Sonde ist korrekt angeschlossen
11 / 31
11