Arion KRF110-01 빠른 시작 매뉴얼 - 페이지 6
{카테고리_이름} Arion KRF110-01에 대한 빠른 시작 매뉴얼을 온라인으로 검색하거나 PDF를 다운로드하세요. Arion KRF110-01 7 페이지. Dry pump
페이지 인쇄6. Pressure-Flow rate diagram
2000
1500
1000
500
0
60
2000
1500
1000
500
0
0
Conditions: 1 atmospheric pressure
20℃
KRF110-01
Vacuum Specification
(Note) In case exhaust pressure is 0kPa
50
40
Vacuum (kPa)
Pressure Specification
(Note) In case vacuum is 0kPa
10
20
Exhaust (kPa)
−5−
30
20
30
40
Spec.No. KRF110-01E
60Hz
50Hz
10
0
60Hz
50Hz
50
60